Кратность увеличения объектива; ;10x;20x;50x;2xSX;4xAx;5xAX;10xAX;20xAX;50xSX
Рабочее расстояние;мм;17,5;16;10,1;34;30;34;33,5;20;13
Диапазон боковых измерений (X, Y); мм;2;1;0,4;10;4,87;3,61;2;1;0,4
(X x Y); мм²;4;1;0,16;100;23,72;13,03;4;1;0,16
Вертикальное разрешение;нм;100;50;20;3500;620;460;130;70;45
Погрешность шага по высоте (1 мм); %;0,1;0,1;0,1;0,1;0,1;0,1;0,1;0,1;0,1
Макс. измеряемая область;мм²;2500;2500;2500;2500;2500;2500;2500;2500;2500
Мин. измеряемая шероховатость (Ra); мкм;0,3;0,15;0,08;-;-;-;0,45;0,25;0,15
Мин. измеряемая шероховатость (Sa); мкм;0,15;0,075;0,05;-;-;-;0,25;0,1;0,08
Мин. измеряемый радиус;мкм;5;3;2;20;12;10;5;3;2